作者：胡明; 秦岳; 赵博硕; 强晓永; 周立伟气体传感器复合结构多孔硅氧化钨二氧化氮
摘要：针对多孔硅气敏传感器在室温下对NO2气体灵敏度较低、选择性不强的问题,采用双槽电化学腐蚀法制备多孔硅,然后在多孔硅顶部溅射沉积金属钨薄膜并经高温热处理氧化形成WO3纳米线,制备出WO3纳米线修饰多孔硅结构及其气敏传感器。对WO3纳米线/多孔硅材料进行了SEM和XRD分析,测试了传感器室温下对NO2的气敏特性。结果表明,制备WO3纳米线的最佳热处理条件是700℃,此温度下增加金属钨膜溅射时间可提升WO3纳米线的生长密度。所制备的传感器对NO2气体表现出反型气敏响应,特别是溅射1 min金属钨的样品显示出优异的NO2室温探测能力与选择性,对4×10-6 NO2的气敏灵敏度是单纯多孔硅样品的5.8倍。
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