作者：陈宏亮; 马少杰; 张英忠; 张锦明mems三轴加速度传感器标定高g值侵彻试验大脉宽
摘要：针对压阻式传感器敏感结构设计的需要,提出一种MEMS三轴高g值加速度传感器敏感结构。对设计的传感器进行Hopkinson杆冲击试验,标定了传感器的灵敏度、线性度和交叉耦合误差参数。对标定的传感器进行了动态侵彻试验,试验结果表明在48 000 gn幅值、3 ms脉宽和15 000 gn幅值、13 ms脉宽的冲击载荷下,传感器测试的位移误差为6%,性能良好,能够满足大脉宽、高冲击测试的需要。
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