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PSD微位移测量系统的设计与验证

作者:汪涛 唐清清 刘江 汪雨寒psd运放电路标定测量稳定性精度

摘要:以提高PSD输出微弱电流信号的稳定性和精度为目的,讨论了PSD驱动、运放电路的设计。主要考虑因素包括:两级精密运放选择,电源滤波模块设计,PCB设计中数模抗干扰,电源和地的处理,抗环境光干扰,PSD及其运放电路集成化,以及适应不同漫反射性质的被测物体的多路放大倍数设计等。最后,区别于传统的测量方案,采用一种基于标定测量的方法。通过音叉振动波形和定点距离测量实验,验证了PSD微位移测量系统的稳定性和精度都较好,测量范围20mm,位移测量相对精度达到1.01%。

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传感技术学报

《传感技术学报》(CN:32-1322/TN)是一本有较高学术价值的大型月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《传感技术学报》主要刊载传感器、执行器和MEMS等材料、设计、工艺及应用,是介绍传感器理论和应用方面较为全面的学术性刊物。

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