作者：涂晟 王军波 商艳龙 陈德勇微电子机械系统谐振式加速度传感器电磁激励高灵敏度
摘要：为提高加速度传感器灵敏度,提出一种新的加速度敏感机制,并基于此原理设计了一种新的微机械谐振式加速度传感器结构。分析了加速度传感器的数学模型及影响灵敏度的关键参数,并以此为依据对传感器结构参数进行优化设计。采用扩散硅层作为谐振子,提高器件性能的同时简化了制作工艺,利用KOH溶液湿法腐蚀硅在各晶向上的各向异性,实现了支撑梁、谐振梁、质量块三者不等厚结构的制作。实验测试结果表明,加速度传感器在-1 gn～1 gn范围内的灵敏度为1.989 2 kHz/gn。
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