作者：熊娟 顾豪爽 吴雯 杜鹏飞 胡明哲质量传感器倾斜aln薄膜磁控溅射剪切振动
摘要：提出通过改变溅射气压获得倾斜于C轴的AlN薄膜的制备方法，探讨了倾斜AlN薄膜的生长机理。以3对交替沉积的Ti—MD金属层为布拉格声学反射层，采用MEMS工艺制备了基于倾斜AlN薄膜的、以剪切模式振动的体声波液体传感器，并对器件的S11参数进行测试分析，得到传感器的中心频率为0．78GHz，表明该器件在生物液相检测领域具有一定的应用前景。
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《传感技术学报》（CN：32-1322/TN）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《传感技术学报》主要刊载传感器、执行器和MEMS等材料、设计、工艺及应用，是介绍传感器理论和应用方面较为全面的学术性刊物。
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