作者：徐树兴; 王宝光; 郑义忠薄膜宽度线阵ccd远心光路在线检测cpld
摘要：为满足生产现场薄膜宽度实时在线测量的需要，设计了并实现了高精度测量薄膜宽度的装置，系统利用稳功率的一字线形激光器照明，采用高分辨率线阵CCD作为传感器，物方远心成像光路接收以消除振动对测量影响，并采用“CPLD＋MPU”硬件电路对输出信号处理，以确保测量精度，整个系统设计结构精简，实验证明了系统的可行性与健壮性。
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《传感技术学报》（CN：32-1322/TN）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《传感技术学报》主要刊载传感器、执行器和MEMS等材料、设计、工艺及应用，是介绍传感器理论和应用方面较为全面的学术性刊物。
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