作者：刘晓; 赵辉; 刘伟文; 俞朴电感传感器动态位移深亚微米过采样平均滤波
摘要：针对传统电感传感器及其测量系统难于同时满足测量精度和采样速度的现状，提出一种适合动态位移超精测量方法．采用半桥式电感传感器作测量探头，利用集成信号调理电路和Δ-∑型AID转换器，将高速过采样和平均滤波有机融和，实现了动态微位移的精密测量．实验结果表明，该方法在保障100Hz速度的前提下，测量稳定性优于±0．01μm．
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《传感技术学报》（CN：32-1322/TN）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《传感技术学报》主要刊载传感器、执行器和MEMS等材料、设计、工艺及应用，是介绍传感器理论和应用方面较为全面的学术性刊物。
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