微机械折叠波导慢波结构冷测特性的研究

作者：朱正鹏; 缪旻; 瞿波; 金玉丰; 冯进军太赫兹真空电子技术有限积分方法微机电系统

摘要：在太赫兹频段，折叠波导行波管因其重要的应用价值已成为一个研究热点．介绍了折叠波导结构和折叠波导行波管，优化设计了一种560GHz行波管器件的结构尺寸，并分别用理论解析方法和软件模拟工具研究了折叠波导慢波结构的冷测特性，文章还对该类折叠波导慢波结构的微加工技术进行了初步的探讨，提出了基于ICP体硅深刻蚀、无电镀铜等组合工艺方案．

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