作者：马广鹏; 陈才和; 唐东林; 崔宇明moems简谐振子优化设计各向异性腐蚀
摘要：介绍了MOEMS加速度地震检波器中敏感元件-简谐振子的工作和设计原理，并详细讨论了影响简谐振子腐蚀质量的因素，在试验中对各向异性腐蚀工艺进行了研究和改进，制作出了高质量的简谐振子。成功用于国家自然科学基金项目“光电集成加速度地震检波技术理论与试验研究”的集成光学器件试验中。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
《传感技术学报》（CN：32-1322/TN）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《传感技术学报》主要刊载传感器、执行器和MEMS等材料、设计、工艺及应用，是介绍传感器理论和应用方面较为全面的学术性刊物。
省级期刊
人气 238649 评论 36
人气 154246 评论 33
人气 151922 评论 53
人气 123271 评论 54
