作者：张诚; 王金海; 陈才和; 张波; 岳泉椭偏仪消光法虚拟仪器labview
摘要：介绍了一种基于Labview的消光式椭偏仪光学测量系统，用于进行透明薄膜厚度的精确测量。研究并推导出消光式椭偏仪光学系统的数学模型及椭偏参数的计算公式。在理论研究的基础上，基于虚拟仪器设计技术，开发了信号采集、传输电路和编写测量软件，设计了椭偏仪的自动控制测量系统。通过对SiO2薄膜的测试，验证了仪器具有良好的可靠性和重复性，薄膜厚度误差小于100A，折射率误差小于0．01。
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