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ANSYS在热释电薄膜红外探测器二维热分析中的应用

作者:张伟; 姚熹; 吴小清ansys热释电薄膜红外探测器微桥结构有限元软件

摘要:根据热释电薄膜红外探测器的结构和实际的测试条件,利用有限元软件ANSYS建立了不同结构组成的热释电薄膜红外探测器的二维模型,并对其进行了热分析,得到了探测器内的温度场分布.分析了复合热释电薄膜红外探测器的绝热层对温度场的影响,并将复合热释电薄膜红外探测器与微桥结构探测器的性能进行了比较.

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传感技术学报

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