作者：董峰 高德 林晶 刘壮磁控溅射siox薄膜阻隔性能透氧透湿
摘要：利用磁控溅射技术，以SiOx为靶材，Ar为射频源气体，在PET基材上制备SiOx薄膜。研究了不同放电功率、氩气流量、镀膜时间等参数对SiOx薄膜阻隔性能的影响。结果表明：在一定范围内，薄膜的阻隔性能随放电功率的增大而增大，而后逐渐减小；氩气流量对薄膜的阻隔性能也有一定影响；镀膜时间在10min时SiOx薄膜的阻隔性能最好。扫描电镜SEM测试表明，在氩气流量为100cm^3／min，镀膜时间10min，1500W放电功率下制备的SiOx薄膜阻隔性能较好、表面较均匀。
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