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采用连续、脉冲等离子体合成低表面能薄膜

作者:陈强; 张跃飞; 张广秋; 葛袁静; 庞华; 陈...射频等离子体连续脉冲模式表面能薄膜

摘要:采用连续与脉冲射频等离子体合成低表面能薄膜SiCxOy.通过对薄膜性能的表征,发现等离子体放电模式影响聚合膜的化学结构、表面成份、表面能数值大小,认为采用脉冲射频等离子体更易合成低表面能聚合物.

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包装工程

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