作者：沈远香; 黄晓霞; 王永惠光学薄膜制备技术气相沉积液相沉积
摘要：随着科学技术的进步,光学薄膜及相关技术不论从广度还是深度来看都得到了显著发展,并逐渐渗透到现代技术和高端技术等领域。对光学薄膜的3种制备技术：物理气相学沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）和化学液相沉积（CLD）进行了分析。综述了几种新型光学薄膜（金刚石薄膜及类金刚石薄膜、软X射线多层膜、太阳能选择性吸收膜、高强度激光膜）的研究进展以及光学薄膜的应用情况。
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