作者:陈冰; 李时春; 邓朝晖; 赵清亮磨削纹路磨削加工参数正交实验磨削表面质量
摘要:为抑制球面、非球面超精密磨削过程中产生的磨削纹路,获得高精度的磨削表面质量,建立磨削点分布方程,仿真磨削点在球面、非球面上的分布特征和磨削纹路的形成过程,提出球面、非球面磨削纹路的抑制策略。结合正交磨削加工实验,优化获得高精度单晶硅球面红外透镜的磨削加工参数,并通过大尺寸单晶硅球面红外透镜的超精密磨削加工实验验证磨削加工参数优化思路的合理性。结果表明:基于磨削纹路抑制策略匹配的磨削加工参数,磨削后可获得磨削表面质量及均匀性较优的球面、非球面;结合正交实验优化获得的磨削加工参数,加工的大尺寸单晶硅球面红外透镜获得纳米级表面质量。因此,基于磨削纹路抑制策略和正交实验的磨削加工参数优化思路可有效提高球面、非球面透镜的磨削表面质量。
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