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包覆型磁性磨粒的制备工艺及性能研究

作者:刘静; 陈红玲; 侯志燕; 李唯东; 刘静远; ...包覆型磁性磨粒性能分析硅片加工试验

摘要:针对黏接法和烧结法制备磁性磨粒工艺过程中的破碎难题,采用化学法制备以Fe_3O_4为核、SiO_2为壳的包覆型磁性磨粒。通过透射电镜、X射线衍射、红外光谱和磁感应强度对该磨粒进行性能分析,用制备出的包覆型磁性磨粒加工硅片,并进行加工性能研究。结果表明,包覆型磁性磨粒的制备工艺简单,性能良好,且用此包覆型磁性磨粒可以有效加工硅片。

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兵器材料科学与工程

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