作者：张而耕; 张致富; 周琼; 黄彪; 陈强; 沈秀...类金刚石涂层等离子体增强化学气相沉积磁控溅射物理气相沉积摩擦磨损磨损率切削性能抗粘附性
摘要：目的比较分析氢元素对类金刚石涂层摩擦性能的影响,研究含氢和无氢DLC涂层在铣削ZL108铝合金时的切削性能。方法分别采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)和磁控溅射物理气相沉积(MS)制备含氢和无氢DLC涂层,并采用三维形貌仪对涂层基片表面形貌进行表征,通过切削实验分析两种涂层铣刀的切削性能。结果MS制备的无氢DLC涂层结构致密,无凹坑、针眼等缺陷。在摩擦磨损试验时发现,无氢DLC涂层磨损率(3.58×10^–6 mm^3/N)明显小于含氢DLC涂层(4.62×10^–6 mm^3/N),即无氢DLC涂层的耐磨性能更好。结论采用MS制备的无氢DLC涂层,表面无明显缺陷,并且具有更优异的摩擦性能。在铣削ZL108铝合金时,减摩性、耐磨性以及抗粘附性能均比含氢DLC涂层铣刀表现得更加优异,被加工的铝合金表面质量更好,产生的切屑表面更加光滑。
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