金属薄膜制造方法显示面板金属布线图案反应空间含氧气体惰性气体
摘要:本发明公开了一种形成金属薄膜的方法,包括:在对应于靶的区定位基底、靶包含银(Ag)并且提供于反应空间内、向反应空间内提供惰性气体和含氧气体。此外,所述方法还包括通过在靶和基底之间产生等离子体而在基底上形成含银(矩)导电膜。
注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社
《表面技术》(CN:50-1083/TG)是一本有较高学术价值的大型月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《表面技术》办刊宗旨:为从事工业材料和机械产品表面处理技术的科技工作者提供学术和技术交流、沟通信息,为我国经济建设服务。
北大期刊、CSCD期刊、统计源期刊
人气 17040 评论 45
省级期刊
人气 12049 评论 31
部级期刊
人气 3000 评论 21