电弧型蒸发源

蒸发源弧型轴向长度供料装置冷却装置阴极表面冷却剂延伸

摘要：本发明涉及一种电弧型蒸发源，该蒸发源拥有基本上呈柱状的阴极，其轴向长度大于其直径；阴极供料装置，用于沿该阴极的轴向向该阴极供料；阴极冷却装置，用于以冷却剂冷却该阴极的至少一侧表面；和磁线圈，用于产生基本垂直延伸到该阴极前端的蒸发表面或从该蒸发表面向外延伸的磁通。

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