有机电致发光器件制作过程真空镀膜掩膜板镍铬合金丝平板显示屏加工技术光刻腐蚀在线切割分辨率
摘要：本发明公开了一种在有机电致发光器件制作过程中，用于真空镀膜的掩膜板及其制作加工技术，它是在线切割及光刻腐蚀的基础上，利用齿、槽对镍铬合金丝进行限位，从而形成精细的掩膜板，分辨率为3条线／mm。可实现平板显示屏的矩阵选址。
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