扫描探针显微镜沉积室悬臂薄膜针尖专利名称溅射靶材真空系统惰性气体
摘要:一种利用荷能团簇在扫描探针显微镜悬臂及其针尖上沉积薄膜的方法,包括下列步骤:溅射室的溅射靶架放置溅射靶材;在沉积室的靶架上粘贴扫描探针显微镜(AFM)的悬臂,并确保针尖向外;使靶架和待沉积薄膜的AFM悬臂处于一铜屏蔽室中;用两套真空系统同时分别对溅射室和沉积室抽真空;在溅射室中充入惰性气体Ar,使溅室真空度达8~20Pa,
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《表面技术》(CN:50-1083/TG)是一本有较高学术价值的大型月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《表面技术》办刊宗旨:为从事工业材料和机械产品表面处理技术的科技工作者提供学术和技术交流、沟通信息,为我国经济建设服务。
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