作者：大见忠弘微波等离子体处理装置部件微波发射处理方法平面天线半导体晶片微波发生器贯通孔容器装载
摘要：在处理容器的内部，设有装载台，用来装载半导体晶片(W)。微波发生器产生微波，通过平面天线部件导入到处理容器内。平面天线部件具有沿若干圆周排列的若干贯通孔，
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《表面技术》（CN：50-1083/TG）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《表面技术》办刊宗旨：为从事工业材料和机械产品表面处理技术的科技工作者提供学术和技术交流、沟通信息，为我国经济建设服务。
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