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专利名称:纳米金刚石薄膜的制备装置

纳米金刚石薄膜制备装置反应炉体正极负极启辉器电压调节器等离子体

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表面技术

《表面技术》(CN:50-1083/TG)是一本有较高学术价值的大型月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《表面技术》办刊宗旨:为从事工业材料和机械产品表面处理技术的科技工作者提供学术和技术交流、沟通信息,为我国经济建设服务。

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