作者：陈长军微纳加工技术激光高新技术产业群大规模集成电路制造过程苏州中国航空发动机
摘要：激光微纳加工是通过激光与材料相互作用，改变材料的物态和性质，实现微米至纳米尺度或跨尺度的控形与控性。由于激光微纳制造在能量密度、作用的空间和时间尺度、制造体吸收能量的可控尺度都可分别趋于极端，而使制造过程所利用的物理效应、作用机理完全不同于传统制造，其制造复杂结构的能力与品质远高于传统制造，由此产生了一批新技术（如光刻、近场纳米制造、干涉诱导加工、微焊接等）、一批新产品（如大规模集成电路、MEMS／NEMS等）、一批产品的高性能化（如航空发动机、燃气轮机、太阳能电池等）和相应的高新技术产业群。
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