低温等离子体辉光放电等离子体中科院等离子体表面处理光机西安材料表面处理直流辉光放电
摘要：近年来，大气压低温等离子体因其高度的化学活性和无需真空设备的优势，在工业材料表面处理、生物医疗杀菌消毒以及环保净化等方面受到了广泛的关注。大气压辉光放电等离子体凭借其功率密度适中和放电均匀特性成为等离子体表面处理和医疗环保应用的最佳选择，而介质阻挡放电和直流辉光放电是产生大气压辉光放电等离子体的主要方式。为了避免被处理样品发生局部灼烧和有效地提高等离子体处理机的工作效率，研发大面积、均匀弥散的等离子体已成为当今低温等离子体领域的重要研究方向之一。
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