技术平台薄膜加工低应力研发mems工艺863计划可靠性试验先进制造
摘要：近日，由863计划先进制造与自动化领域支持的“低应力多层薄膜加工关键技术研发”课题取得突破，建立了MEMS工艺、封装、可靠性试验3个开放式技术平台，在国内率先探索采用PCM＋Cpk＋SPC技术控制MEMS工艺平台的工艺一致性。该主成果体现在以下几个方面：
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
《表面工程与再制造》（CN：42-1870/TG）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《表面工程与再制造》主要刊发有关表面处理行业的各种信息资料，如本行业中的新技术、新产品、新成果等的介绍和推广；对行业中的各种展会、培训及活动进行报道；及时全面地报道和介绍国内外表面工程领域的政策走向、技术进展、行业动态等各类信息。
