化学钝化美国专利化学机械抛光钝化方法低介电常数有机硅氧烷英文电器件
摘要：导电器件的均匀钝化方法（英文）（美国专利）20060172529 A1（2006-08-03）；用于化学机械抛光的料浆配方（英文）（美国专利）20060143993 A1（2006-07-06）；一种形成金属钝化层的方法（英文）（美国专利）20060068097 A1（2006-03-30）；镀铜层上阻挡层形成前的钝化方法（英文）（美国专利）20060024951 A1（2006-02-02）；采用有机硅氧烷前驱体制备低介电常数薄膜的方法（英文）（美国专利）20060063012 A1（2006-03-23）。
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