作者：虞成亮镀膜技术纳米多层工件表面阴极材料放电方法电场作用反应气体离子镀真空
摘要：该技术是在离子镀技术上发展起来的一项镀膜技术。在真空室内采用真空弧光放电方法激发阴极材料．形成原子和离子，在电场作用下．原子和离子束高速轰击作为阳极的工件表面。与此同时向真空室内通入反应气体，即可在工件表面形成镀层。
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