作者：邓力应用特种玻璃国内外研发石英玻璃现代科学技术辅助材料半导体工业
摘要：石英玻璃是由二氧化硅(SiO2)单一组分构成的特种工业技术玻璃。由于其具有耐温、耐酸(氢氟酸和热磷酸除外)、低膨胀和极佳的光谱透过性等特殊的理化性能,已成为现代科学技术的重要材料,广泛应用于半导体工业、光通讯、电光源等高新技术领域,尤其是半导体技术领域中,石英玻璃是不可缺少的辅助材料。由于石英玻璃具有一系列优异的综合性能使其它材料难以替代,尤其在微电子、信息、激光、航空航天、国防军工以及新型电光源等高科技领域被更广泛地应用,是国家战略性产业和支柱性产业发展中不可替代的高纯基础材料。
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