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气流式倾角传感器不同敏感丝布局分析

作者:郑永红敏感机理倾角传感器零位漂移气体摆

摘要:基于气流式倾角传感器的敏感机理,对密闭腔体的不同敏感丝布局进行了分析。应用ANSYS软件,对气流式倾角传感器腔体的对流场进行仿真,解释了倾角传感器的敏感机理。根据气流式倾角传感器的敏感机理,提出3种不同敏感丝布局,定性分析了3种布局的敏感机理,测定了不同布局下的输出信号随倾角的变化关系。实验表明,敏感丝的3种不同空间布局都能输出随倾角成比例的输出信号,热源—单敏感丝布局的稳定性较好,双敏感丝布局的零位漂移较小,单敏感丝布局的工艺简单,并且成本低更有利于小型化。

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北京信息科技大学学报·自然科学版

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