TSV阵列耦合参数求解算法研究与实现

作者：赵景龙; 缪旻tsv阵列耦合参数求解器

摘要：针对大规模TSV(Through Silicon Via)阵列无法直接得出耦合参数的封闭表达式的情况,提出了一种TSV阵列耦合参数的求解算法。利用有限个正交基函数的组合逼近源(电荷)分布函数,确定了邻近效应下TSV表面的电荷分布;利用匹配电荷层法对TSV氧化层进行等效替换,建立了TSV导体表面自由电荷与匹配电荷的对应关系,从而确定了电场和电势的分布;建立源与电势(电场)的求解方程组,通过求解方程组得到TSV阵列的耦合参数。根据该算法设计了一款TSV阵列耦合参数求解器,求解器可以求解任意数量、任意排布方式的TSV阵列耦合参数。最后对求解器得到的解的可靠性进行了验证。计算结果表明,该算法得到的解是可靠的。

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