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LGS晶体优化切型声表面波特性计算

作者:杨虹 黄文奇lgs晶体声表面波切型

摘要:针对La3Ga5SiO14(LGS)压电晶体的特性,利用2种边界条件下克里斯托夫方程,计算了LGS晶体典型欧拉角为切型的相速度、能流角、各项异性因子,机电耦合系数和频率温度系数等声表面波(SAW)性质。计算结果表明,对欧拉角为(90.0°,20.0°,122.2°)和(90.0°,17.5°,121.9°)等切型,LGS晶体同时具有低能流角,低温度频率系数和适中的机电耦合系数,可用于高温环境下声表面波器件制作。

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北京信息科技大学学报·自然科学版

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