铝基微结构光栅几何参数反演

作者：孙双成; 齐宏; 孙建平; 阮世庭; 吕中原; ...光栅结构反演光谱反射率辐射特性

摘要：微结构光栅是一种广泛应用的电子元件。采用随机微粒群优化（SPSO）算法反演了一维铝基衬底矩形光栅的几何结构参数。首先介绍了严格耦合波分析（RCWA）法和微粒群优化算法的基本原理,并采用RCWA法求解了光栅内电磁场问题;然后根据正问题求得的光栅光谱反射率建立目标函数,并采用SPSO算法优化目标函数,反演得到单槽和双槽矩形光栅的周期、凸脊宽度和凹槽深度;最后分析了种群大小和搜索区间对反演结果的影响。结果表明,SPSO算法可以准确地反演光栅几何结构参数,并推荐种群数取30。

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社