作者：刘俊 马宗敏 石云波 杜康 张文栋 张斌珍仪器仪表技术共振隧穿效应陀螺仪纳米薄膜负阻特性设计
摘要：提出了一种新颖的基于纳米薄膜共振隧穿结构（RTS）的微陀螺。对共振隧穿结构的介观压阻效应进行了理论分析；设计了RTS的结构和工艺方法；制备出了能反映共振隧穿效应的RTS结构。该结构降低了器件的寄生电容，改善了敏感薄膜的负阻特性，适用于共振隧穿效应陀螺。对共振隧穿效应陀螺进行了结构设计和理论仿真；利用体工艺制造了微陀螺；对陀螺的关键性能参数进行了测试。
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