作者：马红娜; 王晓娟; 武征; 孙愿三氯氢硅污染源污染控制措施
摘要：三氯氢硅是制备多晶硅的重要原料，三氯氢硅极易挥发，在空气中易燃，并能与空气形成爆炸混合物，其化学性质很不稳定，遇水或水蒸气发生剧烈的放热反应，形成有毒的腐蚀性氯化氢烟雾；通过对三氯氢硅建设项目工艺流程及产污环节分析，探讨了该类项目生产过程废气、废水、噪声、固体废物等污染物的种类、成分及产生量，在此基础上提出了相应的污染控制措施，对该类项目环境影响评价工作有一定的指导作用。
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