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NTT开发出从蓝宝石基板剥离GaN类半导体薄膜元件的工艺

作者:郑冬冬ganntt半导体薄膜基板日本电信氮化钾结晶结构纤锌矿结构氮化铝晶体结构

摘要:<正>日本电信电话(NTT)宣布,开发出了可将LED等使用的GaN(氮化钾)类半导体薄膜元件从蓝宝石基板上轻松剥离下来的工艺。采用该技术能够以低成本制造厚度为2

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半导体信息

《半导体信息》是一本有较高学术价值的双月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度,颇受业界和广大读者的关注和好评。

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