作者:吴琪乐cmos电路memsresonator场效应微机电系统研发联盟联盟成员cornell晶振transistor
摘要:<正>美国半导体研发联盟机构Semiconductor Research(SRC)与康耐尔大学(Cornell University)合作发表一种微机电系统(MEMS)晶体管,并可提供给SRC联盟成员采用,做为CMOS芯片上的时序(timing)解决方案。这种MEMS-JFET元件是在硅晶振谐器(resonator)上制作一个结场效应
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