作者:郑冬冬线切割机成套工艺制造装备军工电子王志刚仪器仪表新型元器件卫星应用国民经济信息化现代物流服务
摘要:<正>中国电子科技集团公司总经理王志刚12日透露,由中国电科承担的国家重大科技专项"极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项"课题之一的300毫米硅材料多线切割机近日研制成功,从而打破了国内生产线上运行的12英寸多线切割机全部为进口设备的现状。
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