作者：江兴存储单元纳米科学浸没式光刻研究设备半导体研究纽约州立大学lithographyimmersion关键技术指标制作工艺流程
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《半导体信息》是一本有较高学术价值的双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度，颇受业界和广大读者的关注和好评。
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