作者：刘广荣存储单元金属栅极浸没式光刻研究成果研究设备设备小型化半导体研究纽约州立大学半导体技术硅化物
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《半导体信息》是一本有较高学术价值的双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度，颇受业界和广大读者的关注和好评。
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