作者：陈裕权联合开发ganpicogigasiveeco批量生产生长工艺化合物半导体专门技术外延片
摘要：<正>Vecco Instruments公司与Soitec集团的Picogiga International公司开始了一项正在形成市场的Si上GaN技术的联合开发计划。该项联合开发计划利用Picogiga公司的制造衬底及化合物半导体的专门技术和Veeco公司的MBE 的经验,加快批量生产Si衬底GaN,以用于宽带高端无线用途。上述两家公司将一起创造世界第一台优化MBE外延炉,用于Picogiga公司的专利GaN/Si生长工艺。Picogiga公司的工程师将与Veeco公司的MBE设
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