MEMS将成为汽车传感器的主流技术

作者：章从福汽车传感器mems微电子机械系统半导体集成电路力学量化学量技术发展加速度传感器压阻式传感器加速度计

摘要：<正>近年来,从半导体集成电路(IC)技术发展而来的MEMS(微电子机械系统) 技术日渐成熟。利用这一技术可以制作各种性能敏感的力学量、磁学量、热学量、化学量和微生物的微型传感器,这些传感器的体积和能耗小,可实现许多全

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