Kyma提供高品质GaN衬底

作者：陈裕权gankyma产品质量半绝缘位错密度快速制备外延膜微电子器件晶向均方值

摘要：<正>Kyma Technologies公司改善了其GaN衬底产品质量并增加了GaN衬底类型。该公司最新开发的导电和半绝缘GaN衬底有10 mm×10 mm正方形和直径为3英寸的圆形两种,其位错密度均小于107cm-2(有的低至105cm-2),而且其表面质量大大提高,用户可快速制备高品位的外延膜。目前他们还在开发4英

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