冲电气的首块MEMS芯片亮相

作者：刘广荣三轴加速度mems封装器件信号输出可测量微机械加工补偿电路娱乐行业微加工技术控制电路

摘要：<正>日本冲电气工业公司(Oki)声称制造出世界上最薄的超小型三轴加速度计组件。这只1.4 mm厚的MEMS传感器与控制IC集成,形成一个封装器件。该加速度计组件除能测量三轴(X、Y、Z)加速度(±3 g)外,还可测量倾角和冲撞力,并能测量倾斜度和振动度,其信号输出为数字式。

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