作者：章从福半导体制造逻辑器件光刻胶aspen产品部芯片生产副总裁抗蚀剂低成本优势氧化工艺
摘要：<正>半导体制造的工艺设备供应商Mattson Technology公司,宣布中国领先的半导体制造厂在其300 mm工厂中选用该公司的AspenⅢStrip系统。该系统已经安装在新的生产线上,用于生产DRAM及逻辑器件的光刻胶凹槽工艺。
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