浙江大学研制成功12英寸掺氮硅单晶

作者：刘广荣硅单晶微电子产业国家重点实验室自主知识产权微缺陷德仁

摘要：<正> 浙江大学硅材料国家重点实验室传来消息,该实验室不久前成功"拉"出了一条具有我国自主知识产权的12英寸掺氮硅单晶。硅单晶是计算机、通信和网络等信息微电子产业的基础材料,随着信息微电子产业的

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