200毫米硅单晶抛光片项目通过国家验收

作者：章从福硅单晶抛光片技术产业化线宽

摘要：<正> 北京有色金属研究总院承担的"直径200毫米(8英寸)硅单晶抛光片高技术产业化示范工程"项目2003年12月19日通过国家验收。这条生产线是我国目前建设成功的第一条可满足0.25μm线宽集成电路需求的8英寸硅单晶抛光生产线,可形成年产200

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