作者：江兴微机电系统信号线路氮化硅电阻加热氮化钛热电流电应力隔离度插入损耗退化现象
摘要：<正> 利用MEMS技术,将射频一微机电系统(RF—MEMS)开关集成在SoC内,新的射频开关有望提高移动电话及类似终端的性能。 RF—MEMS开关的活动器件由一个氮化硅横梁(400μm×50μm)组成,粱两端固定,且两端都含有氮化钛加热电阻器、静电保持电极和一个铝块。最初,横梁与其下面3μm空隙内运行的射频信号线路保持分离。当在电阻加热器上施加一个2V低压时,铝和
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