作者:尹以安 王维韵 王后锦 毛明华氧化铟锡芯粒尺寸电流扩展发光二极管algainp
摘要:采用真空电子束蒸镀的方法制备氧化铟锡(ITO)薄膜,以此作为AlGaInP红光发光二极管(LED)的电流扩展层。研究了该LED结构中,不同的芯粒尺寸对ITO电流扩展的影响。结果表明,在电极尺寸一定的情况下,随着芯粒尺寸的变大,ITO电流扩展层对芯粒发光强度的变化起到显著的效果;在电极直径大小为90μm,芯粒尺寸为190μm×190μm时,电流扩展效果最优,亮度增加18.80%,而当芯粒尺寸增大到220μm×220μm时,亮度增加17.01%,其相对电流扩展效果下降。选取适当芯粒尺寸对ITO的电流扩展至关重要。
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