作者：彭佳; 钱省三看板晶圆厂拉式派工法返工extend仿真
摘要：看板是实现拉式派工的有效工具，它可以用于晶圆制造厂清洗区和炉管区之间的动态派工。用Extend仿真建模软件建立了有“重入特性”的晶圆厂仿真模型。通过晶圆厂仿真模型进行模拟，结果显示看板可以解决晶圆生产在清洗工艺后存在违反“等待时间限制”的情况，可以显著提高炉管设备的利用率，并且明显降低产品的生产周期时间。
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《半导体技术》（CN：13-1109/TN）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《半导体技术》以严谨风格，权威著述，在业内深孚众望，享誉中外，对我国半导体事业的发展发挥了积极作用。“向读者提供更好资讯，为客户开拓更大市场”。荣获中国科技论文统计用刊，美国ProQuest数据库收录期刊。
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